Entwodiksyon nan simaye bouch ultrasons
Gaye ajutaj yo itilize lè/gaz presyon ki ba/gaz yo pwodwi inifòm, modèl espre lajè, ak chak bouch ki kapab jiska 9.8 pous (25 santimèt), tou depann de distans ki soti nan substra la. Vitès koule lè a kontwole pou pèmèt enpak ba oswa segondè nan espre atomize sou pwodwi a oswa substrate. Plizyè ajutaj ki konekte nan seri ka reyalize lajè enfini. Se konsepsyon bouch simaye itilize pou modèl trè repete lajè nan bouch Mens.
Kalite a simaye bouch ultrasons se yon bouch ultrasons atomize ak yon espre kòn siklòn. Li itilize teknoloji a bouch ultrasons atomizasyon, ak nan konsepsyon espesyal la toubiyon koule kanal, se gaz la konpayi asirans konvèti nan yon vant inifòm wotasyon, se konsa ke atomizasyon an ultrason nan vapè dlo a likid gaye nan fòm lan nan yon espre siklòn, agrandi espre a zòn nan vaporisateur la. Bèl ultrasons kapab tou ap flite sou sifas vètikal oswa koube ak lòt substrats angilè.
Aplikasyon an tipik nan simaye ajutaj ultrasons se kouch fotoresist sou bato semi -conducteurs, kote fotoresist se flite sou bato yo semi -conducteurs. Akòz simaye wotasyonèl la ki emèt pa kalite a simaye bouch ultrasons, yon fim fotoresist inifòm ka fòme pa sèlman sou avyon an wafer, men tou sou flan yo ak kwen nan mikrostruktur la wafer. Anplis de sa, yo ka itilize kalite a simaye bouch ultrasons tou pou penti mens fim selil solè, kalsyòm titanat penti selil solè, transmisyon AR ak refleksyon penti fim, tèmik izolasyon fim penti, kouch kouch superhydrophobic, penti PCB flux ak lòt aplikasyon.
Prensip:
Bouch ultrasons konvèti gwo-frekans vag son nan enèji mekanik nan transducteurs piezoelectric, ak Lè sa a, konvèti enèji nan mekanik nan likid. Sa a Longitudinal anwo ak anba Vibration jenere vag kanpe nan fim nan likid nan pwent an nan bouch la ultrasons, kote anplitid nan sa yo vag ka kontwole pa yon dèlko pouvwa. Vag sa yo likid estasyonè ka pwolonje egal soti nan tèt la nan bouch la ultrasons, ak lè ti gout yo kite sifas la atomize nan bouch la, yo dekonpoze nan yon vapè dlo inifòm amann nan ti gout gwosè mikrometrik.
Kontrèman ak ajutaj presyon, ajutaj ultrasons pa sèvi ak presyon ki wo pou fòse likid nan yon ti twou pou pwodwi espre. Likid la antre nan yon sant bouch relativman gwo san presyon epi li se atomize pa Vibration ultrasons andedan bouch la.
Chak bouch ultrasons opere nan yon frekans espesifik sonan, ki detèmine gwosè a medyàn nan gout la. Diferans lan nan gwosè gout se piti anpil, epi yo ka distribisyon li yo avèk presizyon prevwa nan yon seri sèten nan kalkil matematik. Pou egzanp, yon bouch 120 kHz pwodui yon gwosè ti gout medyàn nan 18 mikron lè flite dlo. Pi wo a frekans lan, ki pi piti a diminye nan valè medyàn.
Avantaj:
1. Gwo sifas flite, flite lajè: 40-150 mm
2. Coating uniformity:>95% inifòmite
3. Sove matyè premyè: to itilizasyon matyè premyè a se plis pase 85%, ki se kat fwa sa yo ki an tradisyonèl de flite likid
Ka segondè kontwòl presizyon segondè nan epesè kouch: 20nm a dè dizèn de mikwomèt nan kouch ka prepare, ak kontwòl egzak nan epesè kouch
5. Fine patikil atomize
6. Patikil ki egzakteman atomize
7. ka flite tanzantan oswa kontinyèlman
8. ultra koule espre ki ba
9. pa pral bloke bouch la
10. Anti Kowozyon Bouch
11. Segondè presizyon kontwole flite
